鍋爐脫硫脫硝技術采用臭氧脫硝技術可得到較高的NOX脫除率，典型的脫除范圍為70%～90%，甚至可達到95%，并且可在不同的NOX濃度和NO、NO2的比例下保持高效率；因為未與NOX反應的O3會在洗滌器內被除去，所以不存在類似SCR中O3的泄漏問題；除以上優點外，該技術應用中 SO2和CO的存在不影響NOX的去除，而臭氧脫硝也不影響其他污染物控制技術。經氧化后生成的N2O5通過洗滌器很容易與煙氣中水分發生反應生成HNO3，然后再同洗滌劑生成鹽類，后通過洗滌清理排出系統外。具體的化學反應如下：
N2O5+H2O→2HNO3 （9）
HNO3+NaOH→NaNO3+H2O （10）
臭氧脫硝系統可使NOx排放減少到10μg/g以下，可滿足***嚴格的減排要求。并且不會使SO2轉化為SO3，此外，煙氣中的顆粒物和硫化物對臭氧消耗或 NOX脫除效率的影響并不明顯，該系統不僅可以高效去除氮氧化物，而且對二氧化硫和粉塵等顆粒物也有明顯的去除效果。
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